目前，射频滤波器是射频前端领域中占比比较高的产品。伴随频段数的增多，滤波器价值在3G终端中占比33%提升到全网通LTE终端的57%。而到5G时代，滤波器应用量将进一步提升，并已经超越PA成为整个射频前端模块市场中重要的组成部分。射频滤波器可分为SAW和BAW滤波器两种。SAW滤波器是一种沿着固体表面传播声波，它是由压电材料和叉指换能器（Interdigitaltransducer，IDT）组成。IDT作为SAW滤波器的重要功能区，其主要作用在于能量转换，即在输入端将电信号转换成声波信号，在输出端将接收的声波信号转变成电信号输出。两种信号之间的转换依赖压电材料，其特性是受到外界压力时会发生变形，使晶体内部原子间的距离发生变化，打破了原来正负电荷平衡，使晶体表面产生电压。当晶体两端受到电压时，晶体也会产生形变。SAW滤波器常用压电材料有钽酸锂（LiTaO3）、铌酸锂（LiNaO3）、石英（SiO2）等。滤波器的功能是通过电容、电感、电阻等电学元件组合来将特定频率外的信号滤除，保留特定频段内的信号。本地声表面谐振器功能

BAW与SAW相比可以提供更好的滤波特性，如高Q值，对应的高隔离度，且BAW工艺能够提供更好的高频特性（可到6GHz，目前某些SAW供货商可以提供性能较好的工作在2GHz以上的SAW滤波器，如日本村田），以及更高的功率承受能力。BAW技术广泛应用于频率高于1.9GHz的新型LTE频带中，以及某些对干扰敏感的频带，如2.4GHz与Wi-Fi频带靠近的4G频段。而SAW的独特优势在于其小制备成本，电平衡输出能力（简化电路设计），单个衬底切片上可集成多个滤波器。广东国产声表面谐振器批发FM系列有低损耗性、大强度的排他性以及对外部阻抗的低匹配性。

    滤波器的功能是通过电容、电感、电阻等电学元件组合来将特定频率外的信号滤除，保留特定频段内的信号。由于智能手机需要接收多个频段（5G/4G/3G/2G），同时还要处理多种信号，比如WIFI，BT，GPS信号等。不同通信模式的工作频段不同，所以我们需要在收发链路中使用多个滤波器来避免信号之间的干扰。滤波器根据实现方式的不同可以分为LC滤波器、腔体滤波器、声学滤波器、介质滤波器等。不同滤波器具有不同的特点，适用于不同的应用场景。在消费类电子的无线通信应用中，由于有低功耗、小尺寸的要求，目前智能手机使用较多的是小体积高性能的声学滤波器，包括声表面波（SAW）滤波器和体声波（BAW）滤波器，两者具有不同的特点和应用频段。本文主要关注前者——SAW滤波器。

声表面波传感器的两种基本构型为延迟线型(delayline)和谐振型(resonator)，图1所示为延迟线型和谐振型的传感器结构类别。延迟线型和谐振型声表面波传感器在结构上均由压电基片、叉指换能器和发射栅共同构成。延迟线型声表面波传感器通过天线接收正弦激励信号，传递至叉指换能器(interdigitaltransducer，IDT)，正弦信号在压电基片激励出声表面波，实现声波和电信号的转换。声表面波在压电基片上传播经过一段时间延迟到达反射栅，反射栅将部分声波反射回来，反射的声波又通过IDT转换为正弦激励信号，从而实现电声转换。谐振型声表面波传感器将IDT置于2个全反射的反射栅间。激励的声表面波的频率与谐振器频率相等时，声表面波在反射栅间形成驻波，反射栅反射的能量达到比较大。外部激励信号加载在输入IDT上，IDT将电信号转换为声表面波，声表面波沿压电晶体表面向两边传播，经两侧反射栅反射叠加由输出IDT输出，终实现声／电转换。声表面波被瑞利发现，所以也被称为瑞利波。

SAw滤波器的设计设计梯型结构滤波器[3, 4]，主要是对单端谐振器的设计，并协调好串臂和并臂谐振器的相互关系。谐振器的阻抗可用其谐振频率式中ω rs=2πfrs, ω rp=2πfrp分别为串臂、并臂谐振角频率；ω ra=2π fra , ω ap=2π fap分别为串臂、并臂反谐振角频率；为使梯型滤波器的匹配阻抗为线性阻抗R p，串、并臂阻抗应满足谐振器的频率关系为fap≈frs，f0=frp=fas－f0。在通带频率范围内，Δ f=(fas－frp)/2，将式(4)、(5)代入式(6)，可化为式中一般取为50 Ω。单端对谐振器的静电容可由下式获得设计得到的SAW滤波器频率特性，其中心频率为947.5 MHz，3 dB带宽>30 MHz，插损≤4.0 dB，SS>30 dB，匹配阻抗为50 Ω，取得了较为满意的结果。滤波器根据实现方式的不同可以分为LC滤波器、腔体滤波器、声学滤波器、介质滤波器等。惠州声表面谐振器工作原理

现已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器，其插入损耗只有1.2dB。本地声表面谐振器功能

滤波器根据实现方式的不同可以分为LC滤波器、腔体滤波器、声学滤波器、介质滤波器等。不同滤波器适用于不同的应用场景，在手机无线通信应用中，由于设备尺寸较小、功率较低，因此目前智能手机使用小体积高性能的声学滤波器，根据结构不同可以分为声表面波（SAW）滤波器和体声波（BAW）滤波器。SAW滤波器的基本原理为在输入端由压电效应把无线信号转换为声信号在介质表面传播，在输出端由逆压电效应将声信号转换为无线信号。一个基本的SAW滤波器由压电材料和两个叉指式换能器（IDT，InterdigitalTransducer）组成，输入端的IDT将电信号转换成声波，且该声波在SAW滤波器基板表面以驻波形式横向传播，输出端的IDT接收到的声波转换成电信号输出，从而实现滤波。本地声表面谐振器功能

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